SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源将参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际(guójì)半导体展览会，诚邀行业伙伴莅临14号馆14G22展位，现场交流172nm准分子光(guāng)科技在半导体制造中的创新应用(yìngyòng)，共探(gòngtàn)制程优化新路径。 172nm MINI实验(shíyàn)模组 新品首发 本次展会，广明源将(jiāng)首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产(shìchǎn)环节设计，具备(jùbèi)结构精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点，适配多种实验环境与制程需求(xūqiú)。 172nm 深(shēn)紫外黑科技 可高效(gāoxiào)分解晶圆表面有机残留(cánliú)，提升洁净度与附着性能，为封装、清洗等工艺提供稳定前处理方案。 极简结构，桌面级准分子实验新体验(xīntǐyàn) 由于传统准分子光辐照器因高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级灵活实验。广明源创新推出(tuīchū)紧凑(jǐncòu)台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本(shūběn)大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究机构轻松搭建准分子光实验环境，满足平板(píngbǎn)显示(xiǎnshì)光清洗、塑料(sùliào)表面改性等多领域研发需求。 封装工艺表面(biǎomiàn)清洁处理 超净化超微细清洗工艺(gōngyì)验证 172nm 系列全线(quánxiàn)亮相共襄盛会 除新品发布外，广明源(yuán)还(hái)将展出多款172nm准分子系列光源与模组产品，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面(biǎomiàn)活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更多选择。 172nm准分子系列光源(guāngyuán) 172nm准分子系列模组及设备(shèbèi) SEMI-e 2025 ，诚邀(chéngyāo)莅临 欢迎半导体制造企业、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临(lìlín)参观交流，现场了解172nm准分子光科技在半导体制造领域的多元应用(yìngyòng)，共同探讨(tàntǎo)合作机会。 2025 SEMI-e 中国(zhōngguó)（深圳）国际半导体展览会 时间：2025年(nián)6月4-6日 地点：深圳国际会展中心(huìzhǎnzhōngxīn)14号馆 （本文来源：日照(rìzhào)新闻网。本网转发(zhuǎnfā)此文章，旨在为读者提供更多信息资讯，所涉内容不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问，请与有关方核实(héshí)或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）